파이퍼 베큠, 이온 주입 응용 분야용 터보 펌프 신제품 HiPace 2800 IT를 선보이다

2020-11-20

  • 가벼운 기체의 경우 매우 높은 펌프 속도
  • 지능형 온도 관리 시스템에 의한 공정상 적응
  • 신뢰성 있는 하이브리드 베어링 설계에 의한 소유 비용의 최대 절감

파이퍼 베큠이 특별히 이온 주입 응용 분야 전용 터보 펌프인 HiPace 2800 IT를 선보였습니다. 정교한 로터 디자인의 터보 펌프로서 가벼운 기체에 대한 펌프 속도를 최적화했습니다. 이로써 수소가 가장 많이 축적되는 기체인 경우 이온 주입 공정에서 매우 적합하게 적응할 수 있습니다. 신제품 HiPace 2800 IT는 수소에 대한 펌프 속도가 2,600 l/s로서 동급 최고의 터보 펌프입니다.

지능형 온도 관리 시스템을 채택하여 펌핑 시스템 내에서 공정상 응축 및 증착 발생을 방지합니다. 이로써 온도를 개별적으로 설정하여 공정을 이상적으로 지원할 수 있습니다. 또한 로터의 특수 코팅으로 인해 이온 주입 공정에서 어느 재료를 사용하더라도 펌프의 견고성을 보장합니다.

HiPace 터보 펌프는 하이브리드 베어링에 기초하여 전진공 측면에 전진공 볼 베어링을, 고진공 측면에 영구적인 자기 래디얼 베어링을 조합함으로써 베어링 설계가 견고합니다. 효율적인 코팅과 더불어, 이러한 설계는 펌프의 긴 수명 주기와 최대 가동 시간을 가능케 하는 기초가 됩니다.

파이퍼 베큠 터보 펌프 HiPace 2800 IT
파이퍼 베큠 터보 펌프 HiPace 2800 IT

더 많은 정보는 여기를 클릭해주세요:

소셜 네트워크