Die Busch Group auf der Semicon Europa: Vakuumtechnologie und Abgasreinigungslösungen
17.10.2024
Die drei Unternehmen der Busch Group – Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions und centrotherm clean solutions – stellen vom 12. bis 15. November 2024 gemeinsam auf der Messe Semicon Europa 2024 in München aus.
Besucher der Semicon Europa dürfen sich auf innovative Vakuumtechnologie und Abgasreinigungssysteme freuen, die in Halbleiter-Fabs und bei OEMs eingesetzt werden. Sie können sich am Stand 555 in Halle C1 mit Experten von Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions und centrotherm clean solutions über Vakuumpumpen, Lecksucher, Abgasreinigungssysteme und Ventile austauschen.
Vakuumpumpen
Die Turbomolekular-Vakuumpumpe HiPace 3400 IT von Pfeiffer Vacuum wurde speziell für anspruchsvolle Anwendungen der Ionenimplantation entwickelt und setzt als kompakteste Turbopumpe ihrer Klasse Maßstäbe. Die Flanschgröße DN 320 erhöht das Saugvermögen für Prozessgase um 30 Prozent. Ihr einzigartiges Lagerkonzept und die beschichtete Rotor-Konstruktion schützen sowohl das Verfahren als auch die Pumpe und bieten Langlebigkeit sowie Zuverlässigkeit.
Die ölfreien Pumpen TORRI BD 0100/0600 von Busch Vacuum Solutions bieten kurze Abpumpzeiten für Schleusenkammern. Sie gehören zu den kleinsten, leichtesten und energieeffizientesten ölfreien mehrstufigen Drehkolben-Vakuumpumpen auf dem Markt.
Ölfreie Drehkolben-Vakuumpumpe von Busch Vacuum Solutions
Thermisches Abgasreinigungssystem
Die Technologie von centrotherm clean solutions kombiniert die Vorteile der Verbrennung mit dem elektrisch beheizten Konzept der Abluftbehandlung. Dies führt zu geringeren Betriebskosten und weniger Sekundäremissionen. Das System CT-TW-H kann beispielsweise das molekulare Prozessgas NF3 mit hoher Abscheideeffizienz und extrem niedrigen NOx-Emissionen zerstören. Damit bietet es eine nachhaltige Lösung mit minimalem CO₂-Fußabdruck für CVD- und Metallätzverfahren.
Sami Busch, Miteigentümer und Co-CEO der Busch Group, erläutert: „Die Busch Group hat für Komplettlösungen in der Halbleiterindustrie ein einzigartiges Portfolio. Unsere umfangreiche Produktpalette kann von Reinräumen bis hin zur Sub-Fab eingesetzt werden. Sie umfasst Abgasreinigungssysteme, Vakuumpumpen, Kontaminationsmanagement, Lecksuche, Ventile, Sub-Fab-Management und den Service für alle Marken.“
Die Unternehmensgruppe deckt das gesamte Leistungsspektrum von der Entwicklung über die Produktion bis hin zum Service ab – alles aus einer Hand. Ein weiterer Vorteil der Busch Group ist das weltweit dichte Servicenetz, das den Kunden schnelle und effiziente Unterstützung bietet.
Thermisches Abgasreinigungssystem von centrotherm clean solutions
