Innovative Ventiltechnologie der Series E auf der Semicon Europa
12.12.2024
Die drei Unternehmen der Busch Group – Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions und centrotherm clean solutions – stellten gemeinsam auf der Messe Semicon Europa 2024 in München aus.
Besucher der Semicon Europa konnten mit Experten der Busch Group über Vakuumpumpen, Leckdetektoren, Abgasreinigungssysteme und Ventile sprechen.
Die Turbomolekular-Vakuumpumpen HiPace 3400 IT von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions wurden speziell für anspruchsvolle Anwendungen der Ionenimplantation entwickelt und sind die kompaktesten Turbopumpen ihrer Klasse. Bei den TORRI BD 0100/0600 von Busch Vacuum Solutions handelt es sich um ölfreie mehrstufige Drehkolben-Vakuumpumpen. Sie bieten kurze Abpumpzeiten für Schleusenkammern und zeichnen sich dadurch aus, dass sie klein, leicht und energieeffizient sind. Die thermische Abgasreinigungstechnologie von centrotherm clean solutions kombiniert die Vorteile der Verbrennung mit einer elektrisch beheizten Abgasbehandlung und bietet eine nachhaltige Lösung mit minimalem CO2-Fußabdruck für CVD- und Metallätzprozesse.
Als besonderes Highlight wurde auf der Messe das neue Produkt Series E von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions vorgestellt. Mit herausragender Steuerung, Energieeffizienz und Zuverlässigkeit sowie erheblichen Kosteneinsparungen setzen diese elektrischen Eckventile für Hochvakuumanwendungen einen neuen Industriestandard. Die Series E bietet ein erstklassiges elektrisches Antriebssystem, das auf Präzision und Robustheit ausgelegt ist. Der eingebaute "Failsafe-Mechanismus" gewährleistet das Schließen des Ventils bei Stromausfall. Bei Wartungsarbeiten ermöglicht der lokale Modus den Betrieb vor Ort. Dies reduziert die mechanischen Belastungen und sorgt für eine gleichbleibende, sichere Leistung.
Die Ventile arbeiten im Bereich von 10–3 bis 10–9 mbar äußerst zuverlässig. Der mit 24 V DC betriebene hocheffiziente elektrische Antrieb und die robuste Elastomerdichtung stellen eine hohe Lebensdauer sicher. Der rechtwinklige Aufbau erleichtert die Integration und verbessert die Systemkompatibilität und Benutzerfreundlichkeit.
Elektrisches Eckventil Series E für Hochvakuumanwendungen von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Quelle: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.
