Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions präsentiert die CenterLine CNR Baureihe
16.05.2025
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – ein Mitglied der globalen Busch Group – stellt mit der CenterLine CNR Baureihe eine Erweiterung seiner CenterLine Produktfamilie vor. Die Vakuummessgeräte sind besonders für die rauen Einsatzbedingungen in der Halbleiterindustrie geeignet.
Die CenterLine CNR Baureihe besteht aus analogen kapazitiven Vakuummessgeräten, die über vier Dekaden im vollen Messbereich zwischen 0,1 und 1.000 Torr messen können. Die in beheizten und unbeheizten Varianten erhältliche CNR Baureihe ergänzt die bestehende CenterLine Produktfamilie und liefert zuverlässige Messungen auch unter härtesten Einsatzbedingungen. Wie die anderen CenterLine Messgeräte bietet auch die CNR Baureihe ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis und lässt sich einfach in bestehende Installationen mit Messtechnologien anderer Hersteller integrieren.
CNR Messgeräte werden im Idealfall in Kombination mit Druckregulierventilen verwendet und können für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie, wie Trockenätzen, CVD- oder ALD-Prozesse, eingesetzt werden. Sie können zudem auch in der Analytik, in F&E sowie in zahlreichen anderen Branchen genutzt werden. Bei dieser Erweiterung der Produktfamilie stehen fünf verschiedene Ausführungen zur Verfügung: 36x, 37x, 38x, 39x und 30x. Alle Produkte der Baureihe entsprechen dem SEMI S2 Standard.
Für Prozesse bei jeder Temperatur
Die CenterLine CNR Baureihe bietet eine Vielzahl von Optionen für Prozesse mit unterschiedlichsten Temperaturen. 36x ist eine unbeheizte Variante für zuverlässige Messungen bei Umgebungstemperatur mit einer Genauigkeit von 0,2 %. Für Temperaturen von 45, 100, 160 und 200 °C sind außerdem temperaturgeregelte Varianten verfügbar. Die 45 °C-Variante bietet eine Genauigkeit von 0,15 % und eignet sich somit hervorragend für Kalibrierlabore und strenge Qualitätskontrollen. Die anderen temperaturgeregelten Varianten bieten mit 0,4 % eine höhere Messgenauigkeit in Hochtemperatur- oder Heißgasprozessen als vergleichbare Messgeräte.
Kontaminations- und Korrosionsbeständigkeit
Ein Membransensor bildet das Herzstück des Messgeräts. Er wird durch eine stabile und widerstandsfähige Keramikabschirmung geschützt, die per Atomlagenabscheidung (ALD) aufgetragen wird. Diese Abschirmung schützt den Sensor sowohl vor den hohen Temperaturen der Prozessgase als auch vor möglicher Korrosion. Dies gewährleistet eine höhere Zuverlässigkeit und Genauigkeit sowie eine längere Sensorlebensdauer, selbst unter rauen Plasmabedingungen, da Verunreinigungen minimiert werden. Auch die Sensordrift wird reduziert, sodass eine Kalibrierung seltener erforderlich ist. Dadurch werden die Gesamtbetriebskosten gesenkt.
Filtereinstellung: Druckregelung (p-Regelung)
Die Messgeräte der CenterLine CNR Baureihe sind mit einer speziellen Filtereinstellung, der sogenannten „p-Regelung“ oder Druckregelung, ausgestattet. Diese ist auf Schnelligkeit und Anpassungsfähigkeit ausgelegt, sodass das Messgerät schneller auf Druckänderungen reagieren kann und eine genaue sowie reibungslose Druckregelung bietet. Dieses Merkmal ist besonders effektiv in Kombination mit einem Druckregulierventil.
Die neuen Vakuummessgeräte der CenterLine CNR Baureihe bieten zuverlässige Messungen über vier Dekaden im vollen Messbereich von 0,1 bis 1.000 Torr bei verschiedenen temperaturgeregelten Varianten. Quelle: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.
