Les sociétés Busch Group annoncent leur présence commune au salon Semicon West
26/6/2024
Les trois entreprises du Busch Group (Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum et centrotherm clean solutions) annoncent leur présence commune au salon Semicon West 2024. Il s’agit là d’une étape importante, puisque ce sera la première fois que le Busch Group exposera collectivement sur un même stand aux États-Unis.
Les visiteurs du stand Busch Group peuvent s'attendre à une présentation impressionnante de technologies du vide et de solutions de traitement des gaz, conçues pour la fabrication des semi-conducteurs, pour les salles blanches et les salles d’équipements en sous-sol. Les messages clés sont « Ultimate Product Range » (gamme de produits ultimes) et « Total Fab Solutions » (solutions pour toutes les applications du vide d’une usine de fabrication de semi-conducteurs). Turgay Ozan, président et directeur général de Busch Vacuum Solutions et Pfeiffer Vacuum aux Etats-Unis, commente : « Nous sommes dans une position unique pour être le premier partenaire proposant des solutions complètes pour l’industrie du semi-conducteur. Notre vaste gamme de produits couvre tous les besoins, des salles blanches aux salles d’équipements en sous-sol. Elle inclut les systèmes de traitement des gaz, les pompes à vide, la gestion de la contamination, la détection de fuites, les vannes, la gestion des équipements de fabrication et un service après-vente multi-marques. »
Turbopompes à lévitation magnétique de Pfeiffer Vacuum
Gamme ultime de solutions de vide et de traitement des gaz
Détecteur de fuites mobile ASM 392 : Conforme à la norme SEMI S2, l’ASM 392 de Pfeiffer Vacuum, avec sa pompe turbomoléculaire intégrée, est optimisé pour des pompages rapides et des temps de réponse courts sur des objets testés de grande taille. Sa pompe à vide primaire sèche sans friction et une pompe à vide élevé très performante en font l'outil idéal pour tester les équipements en salle blanche.
Vannes électriques de la série E : Dévoilée pour la première fois lors du salon, la série E de Pfeiffer Vacuum est une gamme révolutionnaire de vannes d'angle électriques, conçues pour être intégrées facilement dans les applications à vide élevé. En combinant une commande électrique perfectionnée à une grande efficacité énergétique, la série E propose un contrôle de haut niveau, une fiabilité accrue et des économies de coûts.
Pompe turbomoléculaire ATH 2804 M : Avec leurs dimensions compactes, les pompes turbomoléculaires à lévitation magnétique ATH 2804 M de Pfeiffer Vacuum fournissent un débit de gaz élevé et sont idéales pour les processus de fabrication de semi-conducteurs.
Pompe turbomoléculaire HiPace 3400 IT : La pompe HiPace 3400 IT, spécialement conçue pour les applications exigeantes d'implantation ionique, établit un standard en tant que pompe turbomoléculaire la plus compacte de sa catégorie. La taille de la bride DN 320 augmente de façon impressionnante la vitesse de pompage des gaz de procédés de 30 %. Son concept de roulement unique et son rotor à revêtement spécial protègent à la fois le procédé et la pompe, offrant une durabilité et une fiabilité inégalées.
Pompes sèches Torri BD 0100 / 0600 : La pompe Torri BD de Busch Vacuum Solutions offre des temps de pompage courts pour les sas de chargement et fait partie des pompes à vide sèches multi-étages à lobes rotatifs les plus petites, les plus légères et les plus efficaces sur le plan énergétique du marché.
Traitement thermique des gaz CT-TW-H : Le système de traitement thermique à haute température de centrotherm clean solutions combine une large couverture de procédés par combustion à la flamme avec le concept sans combustible du traitement par plasma, ainsi que des coûts d’exploitation et des émissions secondaires réduits. Capable de détruire le gaz moléculaire de process NF3 à des niveaux inégalés avec des émissions de NOx extrêmement faibles, le CT-TW-H représente une solution durable, avec une empreinte carbone minimale, pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de gravure du métal.
Lors du salon Semicon West qui se tiendra du 9 au 11 juillet 2024, les visiteurs pourront discuter avec les experts de Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum et centrotherm clean solutions sur le stand 733 dans le hall sud du Moscone Center à San Francisco.
