Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions présente la série CenterLine CNR
16/5/2025
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – membre de la multinationale Busch Group – présente la série CenterLine CNR, une extension de la gamme de jauges à vide CenterLine existante, particulièrement adaptée aux conditions de fonctionnement difficiles de l’industrie des semi-conducteurs.
La série CenterLine CNR se compose de jauges à vide capacitives analogiques capables de mesurer sur quatre décades à pleine échelle entre 0,1 et 1 000 Torr. Disponible en versions chauffées et non chauffées, la série CNR complète la gamme de produits CenterLine existante et fournit des mesures fiables même dans les conditions de fonctionnement les plus difficiles. Tout comme les autres jauges CenterLine, la série CNR offre un rapport qualité-prix optimal et permet une intégration facile dans les installations existantes utilisant des technologies de mesure de fabricants tiers.
Les jauges CNR sont idéalement utilisées en combinaison avec des soupapes de régulation de pression et peuvent être utilisées pour de nombreuses applications dans l’industrie des semi-conducteurs, telles que la gravure à sec, les processus CVD et ALD. Elles peuvent également être utilisées pour les domaines analytiques, la R&D et divers autres secteurs. Dans cette extension de la série de produits, cinq versions différentes sont disponibles : 36x, 37x, 38x, 39x et 30x. Tous les produits de la série sont conformes à la norme SEMI S2.
Pour des procédés à toutes les températures
La série CenterLine CNR offre une variété d’options pour les processus à différentes températures. Le 36x est une variante non chauffée pour des mesures fiables à température ambiante offrant une précision de 0,2 %. Les versions auto-échauffantes sont également disponibles à 45, 100, 160 et 200 °C. La variante 45 °C offre une précision de 0,15 %, ce qui la rend idéale pour les laboratoires d’étalonnage et les contrôles de haute qualité. Avec une précision de 0,4 %, les autres versions auto-chauffantes permettent une plus grande précision de lecture dans les processus à haute température ou à gaz chaud que les jauges comparables.
Résistance à la contamination et à la corrosion
Un capteur à diaphragme constitue le cœur de l’appareil de mesure. Il est protégé par un bouclier céramique stable et résistant revêtu par dépôt en couche atomique (ALD). Le bouclier protège le capteur de l’exposition aux températures élevées des gaz de procédé et de la corrosion potentielle. Cela garantit une fiabilité et une précision supérieures ainsi qu’une durée de vie plus longue du capteur, même dans des conditions plasmatiques difficiles, grâce à une contamination réduite. Comme la dérive du capteur est également réduite, un étalonnage est moins fréquemment requis, ce qui réduit le coût total de possession.
Réglage du filtre de régulation de pression (p-control)
Les jauges de la série CenterLine CNR sont équipées d’un réglage de filtre spécial appelé « p -control» ou régulation de pression. Conçu pour être rapide et adaptatif, ce réglage permet à la jauge de répondre plus rapidement aux changements de pression et de fournir une régulation de pression précise et homogène. Cette fonction est particulièrement efficace en combinaison avec une soupape de régulation de pression.
La nouvelle série de jauges à vide CenterLine CNR fournit des mesures fiables pendant 4 décades sur toute l’échelle de 0,1 à 1 000 Torr à différents niveaux de température d’auto-chauffage. Source : Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.
