Pfeiffer Vacuum présente la nouvelle pompe turbomoléculaire HiPace 2800 IT, conçue pour les applications d’implantation ionique

20/11/2020

  • Vitesse de pompage plus élevée pour les gaz légers
  • Un fonctionnement adapté au process grâce à un système intelligent de gestion de la température
  • Un coût de possession réduit grâce à une conception fiable avec roulement hybride

Pfeiffer Vacuum présente la HiPace 2800 IT, une pompe turbomoléculaire spécialement conçue pour les applications d’implantation ionique. La conception sophistiquée du rotor de la pompe turbomoléculaire permet d’offrir une vitesse de pompage optimisée pour les gaz légers. Ceci assure une très bonne adaptation aux procédés d’implantation ionique, où l’hydrogène est le gaz prédominant. Avec une vitesse de pompage de 2 600 l/s pour l’hydrogène, la nouvelle HiPace 2800 IT est la meilleure pompe turbomoléculaire de sa catégorie.

Le système intelligent de gestion de la température empêche la condensation et la formation de dépôts à l’intérieur du système de pompage. Il permet de régler individuellement la température de manière à parfaitement supporter le process. Le revêtement spécial du rotor assure sa robustesse vis-à-vis de tous les matériaux intervenant dans le process d’implantation ionique. Basées sur un concept de roulement dit hybride, une combinaison de roulements à billes en céramique du côté du vide primaire et d’un palier magnétique permanent du côté du vide poussé, ces pompes turbomoléculaires HiPace proposent une conception de pivoterie particulièrement robuste. Tous ces points combinés constituent la base d’un long cycle de vie, et d’une disponibilité d’utilisation en fonctionnement maximale de ces pompes.

pompe turbomoléculaire HiPace 2800 IT de Pfeiffer Vacuum
pompe turbomoléculaire HiPace 2800 IT de Pfeiffer Vacuum

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