부쉬 그룹사 세미콘 웨스트 공동 참가를 발표하다
2024-06-26
부쉬(Busch) 그룹의 찬사받는 세 회사(Pfeiffer Vacuum, Busch Vacuum Solutions, centrotherm clean solutions)가 세미콘 웨스트(Semicon West) 2024 공동 참가를 발표했습니다. 부쉬 그룹이 미국 내에서 하나의 부스에 공동으로 전시하는 최초의 행사로서 중요한 이정표가 세워집니다.
방문객은 반도체 시설 및 하위 시설 지원용으로 설계된 진공 기술 및 저감 솔루션의 인상적인 쇼케이스 현장을 예측할 수 있습니다. 올해 세미콘 웨스트 박람회의 주제는 “Stronger Together, Forward as One”이며 이는 부쉬 그룹의 부스 메시지인 “Ultimate Product Range” 및 “Total Fab Solutions”와 완벽하게 일치합니다. 미국 내 부쉬 그룹사 사장인 투르가이 오잔(Turgay Ozan)은 “우리는 반도체 산업에 최상의 종합 솔루션 파트너가 될 수 있는 독보적인 입지를 확보하고 있습니다. 당사의 광범위한 제품 범위는 클린룸에서 하위 시설까지 모든 것을 지원하고 가스 저감, 진공 및 터보 분자 펌프, 오염 관리, 리크 감지, 밸브, 하위 시설 관리 및 모든 브랜드에 대한 서비스에서 사용할 수 있습니다.”
파이퍼 베큠의 자기 부상식 터보 펌프
소개될 진공 기술, 저감 솔루션의 최종 제품 범위
ASM 392 이동식 리크 감지기: 통합 터보 펌프를 갖추고 있으며 SEMI S2를 준수하는 파이퍼 베큠의 ASM 392는 대용량 테스트 개체에 대한 빠른 펌프 다운 및 짧은 응답 시간에 최적화되었습니다. 마찰 없는 건식 배압 펌프 및 강력한 고진공 펌프로 클린룸 환경에서의 테스트에 이상적입니다.
전기 밸브 Series E: 박람회에서 처음으로 공개되는 파이퍼 베큠의 Series E는 고진공 응용 분야에 쉽게 통합되도록 설계된 획기적인 전기 앵글 밸브 라인입니다. 고급 전기 작동과 에너지 효율성이 결합된 Series E는 탁월한 제어, 신뢰성 및 비용 절감 효과를 제공합니다.
ATH 2804 M 터보 펌프: 설치 공간이 작은 파이퍼 베큠의 ATH 2804 M 자기 부상 터보 분자 펌프는 높은 가스 처리량을 제공하며 반도체 제조 공정에 이상적입니다.
HiPace 3400 IT 터보 펌프: 까다로운 이온 주입 응용 분야 전용으로 설계된 HiPace 3400 IT는 성능이 저하되지 않고도 동급에서 가장 컴팩트한 터보 펌프로서 표준을 정합니다. DN 320 플랜지 사이즈로 공정 기체의 펌핑 용량이 인상적인 수치인 30%까지 증가됩니다. 고유한 베어링 컨셉트와 특수 코팅된 로터 디자인은 공정 및 펌프 둘 다 보호하며 비할 데 없이 높은 내구성과 신뢰성을 제공합니다.
Torri BD 0100/0600 건식 펌프: 부쉬의 Torri BD는 로드 록 챔버에 대한 짧은 펌프 다운 시간을 제공하며 시판 제품 중 가장 작고 가벼우며 가장 에너지 효율적인 건식 다단계 로터리 로브 진공 펌프 중 하나입니다.
CT-TW-H 열 저감: centrotherm clean solution의 차세대 고온 열 저감 시스템은 화염 저감의 광범위한 공정 범위와 플라즈마 저감의 연료가 들지 않는 측면을 흠잡을 데 없이 결합합니다. 극도로 낮은 NOx 배출로 동급 최고 수준으로 분자 NF3를 파괴할 수 있는 CT-TW-H는 최종적으로 CVD 및 금속 에칭 공정 제품군에 탄소 발자국을 최소화한 지속 가능한 솔루션을 제공합니다.
박람회 방문객은 2024년 7월 9일부터 11일까지 세미콘 웨스트에서 샌프란시스코 모스콘 센터(Moscone Center) 사우스홀의 733번 부스에서 Pfeiffer Vacuum, Busch Vacuum Solutions 및 centrotherm clean solutions의 전문가들과 대화를 할 수 있습니다.
