Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, 새로운 HiCube Neo RGA 출시
2025-04-15
글로벌 Busch Group 자회사 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions는 잔류 가스 분석(RGA)을 위한 컴팩트 소형 다용도 솔루션인 HiCube Neo RGA를 출시합니다.
HiCube Neo RGA는 HiCube Neo 진공 펌프 기계와 PrismaPro 질량 분석기를 잔류 가스 분석용으로 설계된 소형 시스템에 통합한 제품입니다. 장치 내의 터보 진공 펌프는 질량 분석에 필요한 진공 레벨을 생성하여 PrismaPro가 특정 질량 범위에 해당하는 가스 분자를 검출 및 분석할 수 있게 함으로써 공정 모니터링 또는 품질 관리에 필요한 데이터를 제공합니다. 이 시스템은 잔류 가스의 정확한 식별 및 검사를 보장합니다. HiCube Neo RGA는 대기압에서 고진공에 이르는 광범위한 압력 범위에서 작동합니다. 이 제품은 코팅과 같은 다양한 응용 분야 뿐만 아니라 광범위한 분석 작업에서도 사용할 수 있습니다.
안전 기능이 통합된 시스템
안정적인 작동을 보장하고 시스템 부품을 보호하기 위해 HiCube Neo RGA에는 다양한 안전 메커니즘이 내장되어 있습니다. 또한 이 시스템에는 총 압력을 지속적으로 모니터링하는 진공 게이지도 장착되어 있습니다. 압력이 사전 정의된 안전 임계값을 초과하면 시스템이 질량 분석기 내부의 필라멘트를 자동으로 차단합니다. 이를 통해 고압 노출로 인한 필라멘트 손상을 방지하여 사용 수명을 연장하고 교체 빈도를 줄일 수 있습니다. 이 시스템에는 통합 차단 밸브도 장착할 수 있습니다.
공정 모니터링을 위한 다양한 연결 옵션
HiCube Neo RGA는 외부 센서 및 모니터링 장비를 통합하기 위한 다양한 연결 옵션을 제공합니다. 디지털 및 아날로그 입력 및 출력을 모두 지원하므로 추가 진공 게이지와 같은 추가 센서의 데이터를 분석에 통합할 수 있습니다. 내장된 터치스크린을 통해 측정값에 직접 액세스하고 연결된 부품의 신호를 표시할 수 있습니다. PV MassSpec 소프트웨어를 사용하면 측정값에 더욱 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다.
이 시스템은 누출 검출에서 진공 용광로에 이르기까지 다양한 응용 분야에 맞게 맞춤 설정할 수도 있습니다. 이러한 옵션 중 하나는 흡착된 가스를 방출하는 데 도움이 되는 통합 수신 측 히터입니다. 이 히터는 이러한 가스를 증발시켜 시스템에서 제거함으로써 오염을 줄이고 측정 정확도를 방해할 수 있는 배경 신호를 최소화합니다.
즉시 사용 가능
plug&pump 작동으로 설계된 HiCube Neo RGA는 빠르게 설정할 수 있습니다. 여러 위치에서 가스 분석이 필요한 응용 분야의 경우, 이 시스템을 트롤리에 장착하여 쉽게 운송할 수 있습니다. 따라서 분해할 필요 없이 여러 작업 스테이션 간에 이동이 가능합니다.
잔류 가스 분석을 위한 새로운 HiCube Neo RGA는 대기압부터 고진공까지 광범위한 압력 범위에서 작동합니다. 출처: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.
