Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, CenterLine CNR 시리즈 출시

CenterLine CNR 시리즈는 40년 이상의 사용 수명으로 0.1 ~ 1000 Torr 범위의 측정이 가능한 아날로그 정전용량형 진공 게이지로 구성됩니다. 가열식 모델과 비가열식 모델로 선보이는 CNR 시리즈는 기존 CenterLine 제품군을 확장하고 가장 가혹한 사용 조건에서도 신뢰할 수 있는 측정을 제공합니다. 다른 CenterLine 게이지와 마찬가지로 CNR 시리즈도 최적의 가성비를 제공하며 기타 제조사의 측정 기술을 활용하여 기존 설비에 쉽게 통합할 수 있습니다.

CNR 게이지는 압력 조절 밸브와 함께 사용하는 것이 이상적이며, 건식 에칭, CVD, ALD 공정 같은 반도체 산업의 광범위한 응용 분야에 활용할 수 있습니다. 또한 분석, R&D 및 기타 다양한 산업 분야에서 활용하는 것도 가능합니다. 이 제품 시리즈의 확장 모델로는 36x, 37x, 38x, 39x, 30x의 5종 버전이 있습니다. 이 시리즈의 모든 제품은 SEMI S2를 준수합니다.

모든 온도의 공정에 적합

CenterLine CNR 시리즈는 다양한 온도에서의 공정을 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 36x는 0.2의 정확도로 주변 온도에서 신뢰할 수 있는 측정을 위한 비가열식 모델입니다. 45°C, 100°C, 160°C 및 200°C의 자체 가열 버전도 이용이 가능합니다. 45°C 모델은 0.15의 정확도를 제공하여 보정 실험실 및 고품질 제어에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 0.4% 정확도의 다른 자체 가열 버전은 고온 공정 또는 고온 가스 공정에서 동급 게이지보다 더 높은 정확도의 판독값을 제공합니다.

오염 및 부식 내성

다이어프램 센서는 진공 게이지의 핵심입니다. 이 센서는 원자층 증착(ALD)을 통해 코팅된 안정적이고 내성이 강한 세라믹 실드로 보호됩니다. 세라믹 실드는 공정 가스의 고온 노출과 부식 가능성으로부터 센서를 보호합니다. 이를 통해 오염을 최소화하여 궁극적으로 더 높은 신뢰성과 정확성을 보장할 뿐만 아니라 가혹한 플라즈마 환경에서 센서 수명을 연장할 수 있습니다. 센서 드리프트도 감소하므로 보정 횟수가 줄어들어 전반적인 소유 비용도 절감됩니다.

압력 제어(p 제어) 필터 설정

CenterLine CNR 시리즈의 게이지에는 "p 제어" 또는 압력 제어라는 특수 필터 설정이 적용됩니다. 이 설정은 신속한 적응이 가능하도록 설계되어 게이지가 압력 변화에 더 빠르게 대응하고 정확하고 부드러운 압력 제어를 제공할 수 있습니다. 이 기능은 압력 조절 밸브와 함께 사용할 때 특히 효과적입니다.

신형 CenterLine CNR 시리즈 진공 게이지는 40년 이상의 사용 수명으로 다양한 자체 가열 온도 수준에서 0.1~1000Torr 범위의 신뢰할 수 있는 측정을 제공합니다. 출처: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.