OmniGrade : Pfeiffer Vacuum propose un nouveau système de RGA sur mesure pour les opérations de contrôle de propreté exigeantes
15/11/2023
- Système d’analyse des gaz résiduels avec seuils de détection bas
- Processus de mesure automatisé
- Solution modulaire adaptable aux besoins des clients
Outre des pompes à vide, des
détecteurs de fuites, des appareils de mesure et d’analyse, des composants ainsi que des systèmes et des chambres à vide, Pfeiffer Vacuum propose désormais des solutions complètes sur mesure de systèmes d’analyse des gaz résiduels (RGA). Des marchés émergents, à forte croissance et aux exigences techniques élevées, accordent de plus en plus d’importance à une propreté exceptionnelle, dans la mesure où les impuretés moléculaires ont une influence négative sur la fonctionnalité de leurs produits. C’est pourquoi un nombre croissant de clients définissent des exigences plus élevées en matière de propreté. Dans le domaine de la lithographie EUV, celles-ci sont par exemple définies par les « Generic Standards » GSA 07 1221 et GSA 07 2221. La clé pour assurer la qualité des produits est de déterminer correctement les taux de dégazage dans des conditions de vide poussé en utilisant le nouveau système OmniGrade de Pfeiffer Vacuum.
OmniGrade est un système d’analyse des gaz résiduels hautement sophistiqué, dont la conception est adaptée afin de répondre à des exigences de contrôle spécifiques. Une équipe dédiée d’experts de Pfeiffer Vacuum élabore la meilleure solution possible pour satisfaire aux besoins du client, en tenant compte du coût total de possession et des délais de livraison. Une configuration OmniGrade comprend deux ou trois chambres dont une chambre de spectrométrie dans laquelle le spectromètre de masse est positionné et une chambre de mesure où les échantillons sont placés pendant la mesure. Un sas permettant de minimiser le bruit de fond émanant de l’équipement et un système de transfert automatique des échantillons sont disponibles en option. Le système OmniGrade a été conçu pour répondre aux besoins de faible encombrement et pour une intégration aisée aux interfaces les plus récentes. Par ailleurs, il peut être compatible avec les salles blanches et le spectromètre de masse peut être choisi en fonction des exigences (PrismaPro ou HiQuad). Le chauffage, soit du système seul, soit coordonné avec celui de l’échantillon (« bake-out »), contribue à optimiser encore la capacité de mesure et à améliorer la propreté.
« OmniGrade a été conçu avec des composants à haut rendement énergétique et des technologies avancées qui, tout en optimisant les processus de contrôle de propreté, permettent une réduction des déchets et une utilisation plus efficace des ressources dans le système de production du client », a déclaré Patrick Walther, responsable stratégique des produits Instruments chez Pfeiffer Vacuum, lors du salon Precision Fair.
Pfeiffer Vacuum propose un nouveau système de RGA sur mesure pour les opérations de contrôle de propreté exigeantes
