OmniGrade: 普发真空新型 定制的 残余气体(RGA) 系统,适用于严苛的洁净度验证应用

2023-11-15

  • 具有低检出限的残余气体分析系统
  • 自动测量
  • 模块化设计满足客户定制需求

除了真空泵、检漏仪、测量与分析设备、组件以及真空室和真空系统之外,如今普发真空还提供残余气体分析 (RGA) 系统的定制式完整解决方案。对技术要求高的快速增长市场越来越重视卓越的洁净度,因为分子污染物会对产品的功能产生负面影响。因此,越来越多的客户正在定义更高的洁净度要求。在 EUV 光刻领域,这些是由“通用标准”GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 等定义的。确保产品质量的关键在于使用普发真空名为 OmniGrade 的新型定制系统来正确确定高真空条件下的气体放气率。

OmniGrade 是一种先进的残余气体分析系统,其设计旨在满足特定的测试要求。普发真空专家团队针对这些要求,在兼顾总成本和交货时间的因素的同时开发了满足各种需求的解决方案。一种配置含有两个或三个腔室。它由放置质谱仪的光谱仪室和在测量过程中放置样品的测量室组成。为了最大限度地减少系统基板和通过自动传输系统的样品传输,可以选配锁定室。OmniGrade 专为占地面积小、操作便捷与最新界面集成而设计。也可兼容一个洁净室。可根据需求选择质谱仪(PrismaPro 或 HiQuad)。无论是纯系统还是与样品一起(烘干)的热力加热,都有助于进一步优化测量能力并提高样品纯度。

“OmniGrade 采用了节能组件和先进技术设计,以减少浪费和排放。它有助于优化检查纯度的流程,从而减少客户生产中的浪费并更有效地利用资源”,普发真空仪器战略产品经理 Patrick Walther 在精密博览会上说道。
 
 

普发真空提供一个新型 、定制的 RGA 系统,用于满足严苛的纯度验证要求
普发真空提供一个新型 、定制的 RGA 系统,用于满足严苛的纯度验证要求

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