OmniGrade: 파이퍼 베큠은 정교한 청정도 검증을 위해 새로운 고객 맞춤형 RGA 시스템을 제공합니다.

2023-11-15

  • 감지 한계가 낮은 잔류 가스 분석 시스템
  • 자동화된 측정 프로세스
  • 고객 요구 사항에 부합하기 위한 모듈식 접근 방식

진공 펌프, 리크 감지기, 측정 및 분석 장치, 부품, 진공 챔버 및 시스템 외에도 파이퍼 베큠은 이제 잔류 가스 분석 시스템 (RGA) 형태의 고객 맞춤형 완전 솔루션을 제공합니다. 높은 수준의 기술 요구 사항이 요구되는 시장이 빠르게 성장하면서, 분자 오염 물질이 제품의 기능에 부정적인 영향을 미치므로 우수한 청결성에 점점 더 많은 가치를 두고 있습니다. 따라서 점점 더 많은 고객이 순도에 대한 요구 사항을 더 높은 수준으로 정의하고 있습니다. 예를 들어EUV 리소그래피 분야에서는이를 "공통 표준(Generic Standards)" GSA 07 1221 및 GSA 07 2221로 정의합니다. 제품 품질을 보장하는 열쇠는 OmniGrade라는 파이퍼 베큠의 새로운 고객 맞춤형 시스템을 이용해 고진공 조건 하에서 탈기체율을 올바르게 결정하는 데 있습니다.

OmniGrade는 디자인이 특정 테스트 요구 사항을 충족하도록 선택된 고도로 발달한 잔류 가스 분석 시스템입니다. 파이퍼 베큠 전문가 팀은 총 비용과 리드 타임을 고려하여 이러한 요구 사항에 대한 최상의 솔루션을 완성했습니다. OmniGrade의 구성에는 질량 분석계가 위치한 분광계 챔버와 측정중에 샘플이 배치되는 측정 챔버로 구성된 2개 또는 3개의 챔버가 포함됩니다. 자동 이송 시스템을 통한 시료 이송 및 시스템 배경을 최소화하는 락 챔버를 선택 사양으로 사용할 수 있습니다. OmniGrade는 설치 공간이 작고 최신 인터페이스와 쉽게 통합되도록 구상되었습니다. 또한 클린룸 호환성도 보장됩니다. 질량 분석기는 요구 사항에 따라 선택할 수 있습니다 (PrismaPro 또는 HiQuad). 순수 시스템에 열을 가하거나 시료와 함께 열을 가하면(베이크아웃) 측정 성능을 더욱 최적화하고 시료 순도를 향상시키는 데 도움이 됩니다.

"OmniGrade에는 에너지 효율적인 구성품과 폐기물 및 배출량을 줄이는 선진 기술이 장착되어 있습니다. 이는 순도 검증 절차를 최적화하는 데 도움이 되어 고객의 생산 과정에서 폐기물을 줄이고 자원을 더욱 효율적으로 활용하게 됩니다." 라고 파이퍼 베큠의 기기 전략 제품 관리자인 패트릭 발터 (Patrick Walther - Strategic Product Manager Instruments) 가 Precision Fair에서 말했습니다.
 
 

파이퍼 베큠, 까다로운 순도 검증을 위한 새로운 고객 맞춤형 RGA 시스템을 제공하다
파이퍼 베큠, 까다로운 순도 검증을 위한 새로운 고객 맞춤형 RGA 시스템을 제공하다

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